一、名词解释
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之车间。亦即是该车间不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
设立无尘车间最主要之作用在于控制产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,使之产品在生产过程中受外界空气干扰为最小。
无尘车间的名称来源应来自于我国以建造外资企业电子工业厂房最早发源地广东地区的叫法;该电子工业厂房是以控制无生命微粒的灰尘为主,而不考虑控制微生物(细菌)对象的污染,故称为无尘车间;如不但要考虑控制无生命微粒的灰尘,亦要考虑控制微生物(细菌)对象的污染,那就称为无菌车间。
目前无尘车间、无菌车间在经济建设中应用的领域非常广泛,有食品、医药、医院、电子、精细化工、精密机械、科研实验室、国防军工等诸多领域。

.药品生产洁净室(区)的空气洁净度划分为四个级别:
洁净室(区)空气洁净级别表
洁净度级别 | 尘粒最大允许数/立方米 ≥0.5μm尘粒数 | ≥5μm尘粒数 | 微生物最大允许数 浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100级 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000级 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000级 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000级 | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
ISO14644-1(空气洁净国际标准)
空气洁净 度等级(N) | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(空气粒子数个/立方米) |
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| 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um |
ISO Class1 | 10 | 2 |
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ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
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ISO Class3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
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ISO Class4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 |
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ISO Class5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO Class6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO Class7 |
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| 352,000 | 83,200 | 2,930 |
ISO Class8 |
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| 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
ISO Class9 |
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| 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 |
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二、无尘车间的分类
(一)按用途分类(分为两大类)
1.工业无尘车间以无生命微粒的控制为工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业、(半导体、集成电路等)、宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)、LED(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头等多行业。
2.生物无尘车间(无菌车间)以控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工业对象的污染。又分为:
A.一般生物无尘车间(无菌车间):主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能接受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。实际上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无菌车间。例如:制药工业、医院、(手术室、无菌病房)、食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验实验室、血站等。
B.生物学安全无尘车间(无菌车间):主要控制对象的有生命微粒对外界和人的污染,内部要保持负压。
例如:细菌学、生物学洁净试验室、生物工程(重组基因、疫苗制备)。
(二)按气流分类
1.单向流无尘车间
1)单向流以均匀的截面速度,沿着平行线以单一的方向在整个室天花截面下通过无尘车间.单向流无尘车间靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把室内污染排回风道。
2)要想实现“活塞流"的作用,最重要的是高效过虑器必须布满。但是由于高效过虑器有边框,放置高效过虑器也要有支架,不可能百分之百布满。所以我国《洁净厂设计规范》规定,垂直流无尘车间满布不应小于60%,水平单向流无尘车间不应小于40%,否则就是局部里我流了。
2.乱流无尘车间
1)定义:乱流无尘车间的定义是气流以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流或涡流的无尘车间。
2)原理:乱流无尘车间靠送风气流不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,来实现洁净的(乱流无尘车间一般设计在千级以上到30万级净化级别)。
3)特性:乱流无尘车间是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
①自净时间:是指无尘车间按设计换气次数开始送风到无尘车间,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。
1,000级
希望不超过20min(分钟)(可取15min计算)
10,000级
希望不超过30min(分钟)(可取25min计算)
100,000级
希望不超过40min(分钟)(可取30min计算)
②换气次数(按上述自净时间要求设计)
百级区断面风速:0.25-0.35m/s;
1,000级
43.5-55.3次小时(规范:50次/小时)
10,000级
23.8-28.6次/小时(规范:25次小时)
100,000级
14.4-19.2次/小时(规范:15次/小时)
压差:不同级别房间≥5Pa;对室外≥10Pa
温度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃;相对湿度:45-65%(RH);噪声≤60dB(A);新风补充量:总送风量的10%-30%;工作区照度:≥250Lux,一般区照度:≥150Lux,
3.混合流无尘车间(乱流、流层同在)
是将单向流无尘车间与非单向流无尘车间混合于同一无尘车间内组合使用,这种形式既满足电子产品生产的较严的洁净度等级要求,又可降低建造、运行费用。混合流无尘车间的特点是需要空气洁净度严格的区域采用单向流,其他区域为非单向流,既满足使用要求,也节省建造投资和运行费用。隧道式无尘车间就是典型的混合流无尘车间

三、实现无尘车间洁净度要求的通风措施
无尘车间要达到洁净等级技术措施,必须有综合的通风过滤系统,其中包括无尘车间工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑净化装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净过滤措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 :
(1) 对无尘车间的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入无尘车间的空气,进行最后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2) 根据无尘车间的等级,合理选择无尘车间的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于无尘车间内的微粒从回风口排走。
(3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。
(4)不同等级的无尘车间、无尘车间与非无尘车间或无尘车间与室外之间均应保持一定的正压值。
四、无尘车间气流组织考虑原则
(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。
(2) 减少涡流,避免把无尘车间工作区以外的污染物带入工作区。
(3) 为了防止无尘车间灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流无尘车间的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
(4) 无尘车间工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。
(5) 工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
(6) 洁净工作台不宜布置在层流无尘车间内。当布置在乱流无尘车间时,宜将其置于工作区气流的上风侧,以提高室内的空气洁净度。
(7) 无尘车间内有通风柜时,宜置于工作区气流的下风侧,以减少对室内的污染。

五、生产工艺对无尘车间设计的要求
(1) 洁净环境是为生产工艺服务的,无尘车间设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在无尘车间设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高级别单向流洁净区的面积。
(2)在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起,把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外,若必须放在洁净区内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。
六、无尘车间平面设计规划
●选址原则:无尘车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省投资和经营费用的原则。厂址应设在自然环境和水质较好,大气含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有毒害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年主导风向的上风侧面,且有一定的防护距离。无尘车间与交通主干道间距宜50米以上 。
●动线规划要点:要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中;无尘车间四周,宜设缓冲区;制造装置的出入,不要对作业产生大影响。
●有些空气净化系统的空气,如经处理仍不能避免交叉污染时,则不能循环使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用有机溶媒精制的原料药精制、干燥工序;放射性药品生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序;固体口服制剂的颗料
●节能原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。高效率的设计和高效率设备需要很大的前期投入。那种"小处节约大处浪费"的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。

七、无尘车间配置必要的净化设备
1、风淋室
风淋室是现代工业洁净厂房中必不可少的洁净配套设备,它能去除人和物表面的尘埃,同时又对风淋室两侧的洁净区和非洁净区起到了缓冲与隔离的作用。该设备广泛应用于食品、医药、生物工程及精密电子等领域。风淋室分为"普通型和联锁型"两类:普通型采用手动启动吹淋的控制方式,个别操作者会选择"不经过吹淋就离开"的逃避方式。这使得洁净区的空气洁净度难以保证。甚至可能会影响到产品质量。
无尘车间内,在动态情况下,细菌及尘埃的最大发生源是操作者,当操作者进入无尘车间之前,必须用洁净空气吹淋其衣服表面附着的尘埃颗粒
2、高效送风口
本产品为万级,十万级乱流无尘车间新建,改建工程净化空调系统终端送风装置。可广泛应用与电子工业,精密机械,冶金,化工等工业及医疗,制药,食品等部门的净化空调系统。本装置主要由静压箱,高效过滤器,铝合金扩散板,标准法兰接口等组成,造型美观,结构简单,使用可靠。 本送风口为下装式,具有在无尘车间内安装和更换过滤器方便的优点,高效过滤器采用机械压紧或液槽密封装置,确保风口安装无泄露,密封可靠,净化效果好高效送风口
3、传递窗
传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间,或无尘车间与无尘车间之间的小货物传递,可有效的减少无尘车间门的开启次数,把洁净区的污染减少的最低程度。根据使用要求,传递窗箱体表面可喷塑,内胆可用不锈钢,外表美观。传递窗的两扇门采用电控连锁或机械连锁装置,可有效的防止低洁净等级区内的灰尘带入高洁净区内,是净化车间必备佳品。
4、洁净工作台
无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高洁净度的局部净化。洁净工作台可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化,其主要组成部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求:台面,采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面,或采用不锈钢做台面;箱体,用热扎薄钢板与骨架气焊易变形,可采用冷轧薄板折边搭接,大电流电焊,内表面需粘贴消声材料,最大尺寸应以通过一般房门为宜;箱体密封,所有缝隙均采用密封胶密封;操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同,尽量减少盲区;风机、电机,选用高压低噪的小型风机,风机与箱体的连接采用软连接,电机及风机均应采取减振措施;灯罩,日光灯要尽量设置在灯罩内,灯罩内要通过洁净气流;预过滤器,须设置预过滤器,容量要大,在使用风量下,初阻力宜小于50Pa;高效过滤器,尽量采用大面积的过滤器,减少空气过滤器的数量,过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。
5、FFU风机过滤单元
FFU为英文缩写,全称为 Fan Filter Units, 中文意思为"风机滤器单元(机组)",也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的无尘车间、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同,业内通行的指标为:过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出,但稳定性差距很大。经过实地检测,国际品牌普遍难以适应"中国环境因素",质量虽然普遍高于国产公司,但1年后的稳定性测试普遍不理想;而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准,并逐步以实地检测数据(之前多依靠行业报告)更真实的体现工程性价比。
6、层流罩
层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体,风机,初效空气过滤器,高效空气过滤器。阻尼层,灯具等组成,箱体喷塑或采用不锈钢材料。该产品即可以悬挂,又可地面支撑,结构紧凑,使用方便。可以单个使用,也可多个联接组成带状洁净区域。
八、无尘车间建造必要的净化装修材料
1、隔热夹芯板墙板、顶板
隔热夹芯板是通过先进的自动成型机将彩色钢板压型后用高强度粘接剂把内外两层钢板(也可以用铝板,不锈钢或装饰板)与岩棉玻镁板聚胺脂发泡板等加压加热复合而成的新兴建筑板材。
隔热夹芯板外型美观,色泽鲜艳多样,轻质高强,施工迅速方便,以板块拼装,不用大型起吊设备,无湿作业。集承重,保温,防火,装饰于一体,不用二次装饰,可广泛用于大跨度结构屋面,墙体,保温隔热厂房或保温防火厂,净化厂房,冷库,冷藏车,集装箱房
2、洁净密闭门
洁净密闭门分钢制门和彩钢板门两种。门扇轻,钢性好,密闭性能佳,产品整体性能好,表面平整,光滑,耐腐,不易积尘,外型美观高雅,启闭灵活,经久耐用,具有隔音,保温,防火等优点。具体规格可以根据用户的要求设计。
3、洁净密闭窗
洁净密闭窗可根据用户的设计要求,采用R60或R44系列型材,制作成圆弧边框或三角边框。
4、洁净密闭灯
洁净密闭灯分为普通型和应急型两种。通常采用双管形式。其中应急型在正常情况下也可以当普通型使用,在厂房突然断电的情况下,其可保持继续照明, 并且不需要单独供电系统。在用材上,洁净密闭等有不锈钢和烤漆型两种,面罩有透明和不透明之分。
5、配电箱及线缆
洁净区内的配电箱(柜)根据要求不同,可采用明装或暗装方式安装。其暗装结构形式类似于通风柱井或结构包柱。配电箱的进出线选用低压电缆,电缆的选择应符合技术要求。例如30kVA、50kVA变压器的配电箱的进线使用VV22-35×4电缆,分路出线使用同规格的VLV22-35×4电缆;80kVA、100kVA变压器的配电箱的进线分别使用VV22-50×4、VV22-70×4电缆,分路出线分别使用VLV22-50×4、VLV22-70×4电缆,其电缆与铜铝接线鼻压接后再用螺栓与配电箱内接线桩头连接。 进入制证车间之前,先要穿上防尘鞋套,车间门口就安放有自动鞋套机。随后,笔者走进了一个两端都有门的"小走廊","走廊"两侧的无数个小"吹风机"不断对笔者"吹风"。这间"小走廊"名为"风淋室","吹风机"是旋转喷嘴,能迅速清除附着在衣服上的灰尘、头发、发屑等杂物。每一位工作人员和外来人员进入无尘车间无尘车间之前,都要通过风淋间"净化"。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入洁净区域。