随着计算机、微电子和信息技术的发展,推动了电子制造业的飞速发展,也带动了洁净室技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,精密仪器无尘车间的设计是一项综合的技术,只有充分了解精密仪器无尘车间的设计特点,做到设计合理,才能让精密仪器产业的产品次品率降低,提高生产效率。
(一)精密仪器无尘车间装修设计要点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,精密仪器无尘车间的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于精密仪器无尘车间在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
●精密仪器无尘车间室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
●精密仪器无尘车间垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。●精密仪器无尘车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
●精密仪器无尘车间万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
精密仪器无尘车间洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项最大值:
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量:
●根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量:
●向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量:

(二)精密仪器无尘车间装修施工要求
精密仪器无尘车间装修施工项目:
1、隔墙板:包括窗户、门,材料是彩钢板,但彩钢板的夹芯有很多种。
2、天花吊顶:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁,材料一般是:彩钢板与无尘板。
3、精密仪器无尘车间制作主要包括天花吊顶、空调系统、隔断、地面、以及照明灯具。
4、地板:高架地板或防静电PVC地板或环氧树脂地板。
5、空调系统:包括主机、风管、过滤器系统、FFU等。

精密仪器无尘车间电气工程施工要求:
1、洁净空调配电、照明配电和其他设备配电应单独控制。
2、网线、墙上设备电源利用原有线路,配电箱、插座、照明开关和网络面板均为暗装。
3、洁净室应根据生产要求提供足够的照明,在施工前要进行复核。
4、每个单独区域照明灯开关应单独控制。
5、照明器具:采用无尘车间用的LED带罩专用灯具,灯具安装应易于清洁。
6、室内洁净灯具安装完毕,应该及时清扫。
精密仪器无尘车间净化装修施工要求:
1、地面处理做自流平地面处理,铺设2mm
厚PVC地板。
2、根据无尘车间施工规范要求,无尘车间在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洁的部位,本工程在进行净化装修时,门窗安装与建筑、净化空调、各种管线、照明灯具的结合部位缝隙要密封处理。
3、所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连,不能与设备和管线支架交叉混用,防止因微震引起装饰材料松动和灰尘脱落。
4、建筑装饰和门窗的缝隙应在正面密封。
5、根据无尘车间检查标准,室内装修要符合下列要求:
a.应选用气密性良好,且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。
b.墙壁和顶棚表面应光洁、平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗,减少凹凸面。墙、地面相接处做成半径等于50mm的圆角。壁面色彩要和谐、雅致,并便于识别污染物。
c.门窗与内墙而要平直,结构要充分考虑对空气和水汽的密封,使污染粒子不易从外部渗入,防止由于室内外温差而产生结露。室内不同洁净度房间之间的内门、内窗以及隔断等缝隙均须密封。
6、
施工中应控制施工作业中的发尘量,特别是吊顶和夹墙内部等隐蔽空间,必须随时清扫。
7、在己安装高效过滤器的房间,不能进行有粉尘的装修作业。
8、注意保护已完成的作业面,不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装修的污染。

精密仪器无尘车间装修后设备的安装:
装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成,适于批量生产,质量稳定,供货迅速。机动灵活,即适合在新建厂房配套安装,也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合,拆卸方便。
需要辅助建筑面积较小,对土建筑装修要求低。
气流组织形式灵活,合理,可满足各种工作环境,不同洁净等级的需要。
精密仪器无尘车间净化空调施工要求:
1、风管和部件应采用优质镀辞钢板,风管内表面必须平整光滑,不得在管内加固风管,咬接应采用联合角咬口,接缝必须涂密封胶。风管连接不应采用内法兰。风管必须设密封清扫孔,总管上应有风量测定孔(支干管上根据需要设置)过滤器前后要有测压孔。防爆区排风管咬口缝要用焊锡密封。
2、风管安装之后、保温之前应进行漏风检查。送回风管用漏光法检查应无漏光,系统空调器漏风率不应大于2%。擦拭空调系统内表面采用不易掉纤维的材料。
3、高效过滤器安装前必须对洁净房间和净化空调系统全面清扫、擦洗,达到清洁要求后,开启净化空调系统连续试运行12小时以上,再次清扫,擦洗洁净室,立即安装高效过滤器。
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