洁净室压差控制要求

一、 洁净室与周围的空间必须维持一定的压差，并应按生产工艺要求决定维持正压差或负压差。

二、 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5Pa，洁净区与室外的压差，应不小于10Pa。

三、 洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。

四、 送风、回风和排风系统的启闭应联锁。正压洁净室联锁程序为先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。

负压洁净室联锁程序与上述正压洁净室相反。

五、 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。